大判例

審決は、周知例を引用し、複数種のガスの流れを別々に発生させた後それらを混合させて得た混合ガスを供給することは、半導体の製造において周知であり、しかも、特段の事情がない限りかかる混合ガスを完全に混合した後に供給することは極めて当然のことである、と認定判断している。

しかしながら、周知例は、ＩＣ中のトランジスタの一つの構成要素であるベースをシリコンウエハに形成する場合の拡散装置を示しているにすぎず、使用されているキャリアガスとしては、窒素と酸素とが記載されているにすぎない。周知例記載の技術は本願第１発明のように既に製造されたＩＣチップに対して外部への接続のためのリード線をボールボンディングする技術とは、異質の技術である。

したがって、引用例１記載の発明におけるシュラウドへ供給するガスを、シュラウドへ不活性被覆ガスの流れを発生させ、不活性被覆ガスとは別の水素ガスの流れを発生させ、不活性被覆ガスと水素ガスとを混合させ、不活性被覆ガスと水素ガスとが実質的に完全に混合した混合ガスとすることは、当業者が容易になし得る程度のことであるとした審決の判断は誤りである。

第３ 　請求の原因に対する被告の認否及び主張

１ 　請求の原因１ないし３の事実は認め、同４の審決の取消事由は争う。審決の認定判断は正当であって、審決に原告主張の違法は存しない。

２(1) 　一致点の認定及び相違点<１>の判断について

(a)　「シュラウド」とは、包む物、覆い等を意味するところ、本願第１発明の特許請求の範囲には、「前記ワイヤ先端に所定の雰囲気を与えるガスを供給するシュラウドが設けられ」及び「前記ワイヤ先端を前記シュラウド内部に位置させて前記シュラウドにより実質的に包囲された状態とさせ」と記載されているから、本願第１発明におけるシュラウドは、ワイヤ先端を実質的に包囲するところの覆いとして把握できる。また、本願第１発明の特許請求の範囲にはシュラウドの材質については何らの記載もないから、透明な物質からなるものをも含むと解される。

一方、引用例１の前記審決摘示(2)(d)(c)の記載、及び第１図を併せてみると、引用例１記載の発明における電極ホルダ10及び透明な前方部分11は、ワイヤ先端を実質的に包囲してワイヤ先端にシールドガスを供給するものであることが明らかである。

してみれば、本願第１発明におけるシュラウドと引用例１記載の発明における電極ホルダ10及び透明な前方部分11はワイヤ先端を実質的に包囲する覆いである点で軌を一にするものである。

したがって、本願第１発明におけるシュラウドが引用例１記載の発明における電極ホルダ10及び透明な前方部分11に対応する、とした審決の認定に誤りはない。

(b)　本願第１発明におけるシュラウドがワイヤの対向電極でとして機能するものであることは認める。しかしながら、その特許請求の範囲には、シュラウドの材質に関する記載はなく、また、シュラウドのどの部分にアーク放電を発生させるかについても記載がないから、本願第１発明におけるシュラウドは、ワイヤの対向電極として機能するものであるが、いかなる材質のものでもよく、また、その内面の一部に電極を設けて一部分のみにアーク放電を発生させるものを含む、というべきである。

そして、審決の引用する本願明細書14頁16行ないし20行における「アーク放電に好適な領域」とは、アーク放電の発生箇所として好適であるということであり、アーク放電の発生箇所とは、対向電極に他ならない。そうすると、「タングステンスポットを設けてアーク放電に対する好適な領域を提供する」とは、タングステンスポットを対向電極として機能させることである。

したがって、シュラウド内面にタングステンスポットを設けて電極、すなわち、対向電極として構成し得ることが記載されている、とした審決の認定判断に誤りはない。

原告は、本願第１発明においてタングステンスポットを設けてアーク放電に対する好適な領域を提供するということは、あくまでもシュラウドが対向電極であるから、タングステンスポットを設けたシュラウドは、引用例１記載の発明における透明な前方部分を有する電極ホルダ内に電極を設けたものとは相違すると主張するが、前記のとおり、本願第１発明においてタングステンスポットを設けたシュラウドは、内面に電極を設けたものといえるから、この点において両者に差異はなく、本願第１発明はシュラウドが内面に電極を取り付けたものを含むことが明らかである、とした審決の認定判断に誤りはない。

(2) 　相違点<３>の判断について

原告は、引用例２記載の発明のように単に混合ガスを供給するという技術的思想とは異なり、不活性被覆ガスと水素ガスとの混合割合を変化させることが可能なものであり、その混合割合を所望の値に設定することにより、形成されるボールの寸法及び形状を制御することが可能なものである旨主張する。

しかしながら、本願第２発明の特許請求の範囲６には、「混合ガス中の水素の体積％を所望の範囲内に制御する手段」が記載されているものの、本願第１発明の特許請求の範囲１には水素の添加量を調節することは何ら記載されてないから、本願第１発明は水素の添加量の調節を含むものではなく、この調節によりボールの寸法、形状を制御できるという効果を奏するものではない。

むしろ、引用例２の「雰囲気ガスは水素が１～50％の範囲を占めるアルゴンとの混合気体でよく、一例として水素10％、アルゴン90％の混合気体を行ない用いて好適した。」（２頁右下欄13行ないし16行）及び「上述のこの発明方法によれば、（中略）真球型のボールが形成できるため、（中略）ボンディングのスペースの少ない（中略）良好な利点が備わるものである。」（２頁右下欄17行ないし３頁左上欄４行）との記載からみて、引用例２記載の発明こそが不活性被覆ガスと水素ガスとの混合割合を変化させて、ボールの寸法、形状を制御できるものである。

原告は、周知例は、トランジスタ等の半導体装置の製造方法に関するものでボールボンディング用のボール形成方法とは異質の技術である旨主張するが、審決は、周知例がボールボンディング用のボール形成方法であると認定したものでなく、複数種のガスの流れを別々に発生させた後それらを混合させて得た混合ガスを供給することは、半導体製造の技術分野において周知であることを示すために引用したものである。そして、本願第１発明のボール形成方法は、ワイヤを集積回路チップへボールボンディングさせるためのものであるから、半導体製造の技術分野に属することは明らかであり、一方周知例記載の技術は、ＩＣ中のトランジスタのベース部分の拡散に関するものであるから、同じく半導体製造の技術分野に属することは明らかである。

したがって、相違点<３>の審決の認定判断に誤りはない。

第４ 　証拠関係

証拠関係は、本件記録中の書証目録記載のとおりであるから、ここにこれを引用する。

理由

第１ 　請求の原因１（特許庁における手続の経緯）、同２（本願発明の要旨）、同３（審決の理由の要点）の各事実は、当事者間に争いがない。

第２ 　そこで、原告主張の審決の取消事由について検討する。

１ 　成立に争いのない甲第２号証の１ないし３（特許願書、明細書及び図面）、同第７号証（平成４年３月24日付手続補正書）によれば、本願明細書には、本願第１発明の技術的課題（目的）、構成及び作用効果について次のとおり記載されていることが認められる。

(1) 　本願第１発明は毛管（キャピラリ）ワイヤボンディング工具によって略保持されているボンディングワイヤ又はリードワイヤの端部に形成するボンディング用のボールの形成を制御する新規な方法に関する（本願明細書３頁17行ないし４頁１行）。

上記のボールは、特に、集積回路チップのダイパッドへリードワイヤをボールボンディングする場合に使用されるが、従来の方法では、ボールを形成する工程における制御上の問題があり、その結果ボンディング用ボールの寸法及び形状が異なったり、酸化したりする欠点があった。

本願第１発明は、この欠点を改良した欧州特許出願第82400875.9号記載の発明をさらに改良・補充してボンディングボールの寸法及び形状を制御するとともに、ボールを形成するためにリードワイヤの端部において溶融される金属が酸化されることを最小とし、一様な寸法・形状及び特性を有するボンディングボールを形成するための新規な方法を提供することを目的とする（同４頁２行ないし７頁２行）。

(2) 　本願第１発明は前記目的を達成するためその要旨とする特許請求の範囲１記載の構成（前記手続補正書２枚目４行ないし19行）を採用した。

(3) 　本願第１発明は、前記構成を採用したことにより、ボール形成中に実質的に酸化が発生することを阻止し、かつ形成されるボールの寸法・形状等を制御できる等の作用効果を奏するものである（本願明細書７頁３行ないし11頁17行）。

２(1) 　一致点の認定及び相違点<１>の判断について

(a)　原告は、本願第１発明におけるシュラウドが引用例１記載の発明における電極ホルダ10及び透明な前方部分11に対応するとの認定に基づきシュラウドの構成において両者は一致する、とした審決の認定は誤りである旨主張する。

そこで、まず本願第１発明のシュラウドについて検討すると、本願明細書の特許請求の範囲１には、「ワイヤ先端に所定の雰囲気を与えるガスを供給するシュラウドが設けられており、前記ワイヤと前記シュラウドとの間に電気的アーク放電を発生させて前記ワイヤ先端に溶融状態のボールを形成させるボールボンディング用ボール形成方法において、前記ワイヤ先端を前記シュラウド内部に位置させて前記シュラウドにより実質的に包囲された状態とさせ」と記載されていること前述のとおりであるから、本願第１発明のシュラウドは、ワイヤ先端を包みかつ覆う機能を有するものであることが一義的に明確である。そして、このことは、前掲甲第２号証の２及び３によれば、本願明細書の発明の詳細な説明に、「シュラウド25は、例えば、ステンレススチール又はその他の導電性物質から形成され（中略）この管状シュラウドの端部にはノッチ26が形成されており（中略）尚第3B図に示した如く、このノッチは、毛管工具13の先端とボンディングワイヤ11の端部とを受納し且つ実質的に取囲む様に適宜寸法を決定する。」（本願明細書13頁19行ないし17頁７行）と記載され、第3B図（別紙図面１参照）にボンディングワイヤ11の端部をシュラウド25内に包囲させた状態が示されていることからも裏付けられる。

これに対し、成立に争いのない甲第３号証によれば、引用例１には、「電極９は、透明な前方部分11（図においては断面であらわす）によって形成されるホルダ10に支持され」（３頁左下欄４ないし６行）、「電極ホルダ10の透明な前方部分はスロット15により形成されそれによりノズル先端およびワイヤが、その前進につれて、電極ホルダ中を通過することを許容する。」（同頁左下欄11行ないし14行）と記載されていることが認められるから、引用例１記載の発明においては、電極ホルダ10には透明な前方部分11が設けられ、透明な前方部分11にはスロット15が形成され、ワイヤ先端はスロット15を介して透明な前方部分11に配置されているから、ワイヤ先端は、電極ホルダ10及び透明な前方部分11内に位置し実質的に包囲された状態にある、ということができる。

そうすると、本願第１発明のシュラウドと引用例１記載の発明の電極ホルダ10及び透明な前方部分11は、ともにワイヤ先端を実質的に包囲した状態のものである点においてその構成に差異がないというべきである。

原告は、本願第１発明におけるシュラウドはワイヤに対して対向電極の機能を有するが、引用例１記載の発明における電極ホルダ10及び透明な前方部分11はその機能を有しない点において両者は相違する旨主張するが、審決は、電極が本願第１発明においてはシュラウドであるのに対し、引用例１記載の発明においてはシュラウド（電極ホルダ10及び透明な前方部分11）の内部において支持される電極９である点を両者の相違点<１>として認定しており、原告の上記主張の点は、結局相違点<１>の判断の当否に係り、審決の前記一致点の認定に影響するものではない。

したがって、本願第１発明におけるシュラウドが引用例１記載の発明における電極ホルダ10及び透明な前方部11に対応するとの認定に基づき、両者のシュラウドの構成が審決の一致点認定の範囲において一致する、とした審決の認定に誤りはない。

(b)　本願明細書の前記特許請求の範囲１には、「ワイヤと前記シュラウドとの間で電気的アーク放電を発生させ」と記載されているから、本願第１発明におけるシュラウドは、ワイヤ先端との間で電気的アーク放電を発生させるものと認められる。

しかしながら、本願第１発明においてシュラウドはワイヤ先端を実質的に包囲した状態のものであること前述のとおりであるところ、前記特許請求の範囲１の記載自体からは、シュラウド内側表面全体とワイヤ先端との間で電気的アーク放電が行われるのか否かは一義的に明確でない。

そこで、この点を本願明細書及び図面の記載に基づいて検討すると、前掲甲第２号証の２及び３によれば、発明の詳細な説明には、前記のとおり「シュラウド25は、例えば、ステンレススチール又はその他の導電性物質から形成され」と記載されているものの、この記載からはシュラウド内側表面全体とワイヤ先端との間で電気的アーク放電が行われるかどうか明らかでない。かえって、発明の詳細な説明中の他の箇所に、「尚、シュラウドとの接続部に於いて、シュラウド内側表面上のタングステンスポット又は区域がボンディングワイヤ11の端部と電極28との間のアーク放電に対する好適な領域を提供する様にこの電極を構成することが可能である。」（本願明細書14頁16行ないし20行）と記載されていることが認められるから、本願第１発明においては、シュラウドの内側表面上にシュラウドとして使用されるステンレススチール等の導電性物質とは異なる耐アーク材料のタングステンが用いられる構成を含むものであり、この場合には、ボンディングワイヤ11は、シュラウド内側表面上のタングステンスポットとの間で電気的アーク放電を行っているものと認められる。また、たとえシュラウドの内側表面上にタングステンスポットのような電気的アーク放電に好適な領域が設けられていない場合であっても、電気的アーク放電はボンディングワイヤとシュラウド内側表面上の電気的アーク放電に適した特定の領域との間で行われることは技術的にみて自明であり、ボンディングワイヤとシュラウド内側表面全体との間で電気的アーク放電が行われているとは認めがたい。

原告は、タングステンスポット28’を設けたとしても、ワイヤ11の先端周りの電界強度を変化させるものでなく、アーク放電の発生に所定の指向性を与えるものにすぎず、シュラウドが対向電極であることに変わりがない旨主張するが、シュラウドの内面にタングステンスポットを設けたものは、シュラウドの内面に対向電極を設けたものといえることは、前述のとおりであるから、原告の主張は理由がない。

そうすると、本願第１発明は、シュラウド内側表面上のタングステンスポット又は区域がボンディングワイヤ11の端部と電極28との間のアーク放電に対する好適な領域を提供するように電極を構成するものを含むものであり（むしろ安定した良好な電気的アーク放電を行うためにはこのような領域を設けることが通常のことと認められる。）、本願第１発明のシュラウドがその内面に電極を取り付けたもものを含むとした審決の認定に誤りはない。

一方、前掲甲第３号証によれば、引用例１には、「ワイヤの終端にボールを形成するには、火花放電がワイヤ１の先端と電極９との間に、約0.125mmの間隔において、生成される。電極９は、透明な前方部分11（図においては断面であらわす）によって形成されるホルダ10に支持され、かつ、ピボット腕12の終端に装着される。」（３頁左下欄２ないし７行）と記載されていることが認められ、この記載にFigl（別紙図面２参照）を総合すると、引用例１記載の発明において、電極９は電極ホルダ10の透明な前方部分11内に配置されており、ボールを形成するための火花放電がワイヤ１と電極９との間で行われるものというべきである。

したがって、本願第１発明におけるシュラウドは、引用例１記載の発明におけるシュラウドの内部において支持される電極と実質的に一致する、とした審決の判断に誤りはかい。

(2) 　相違点<３>の判断について

引用例２記載の発明は、アルミニウム線端を還元性ガスと不活性ガスとの混合気中にて加熱溶融し、ボールを形成するアルミニウム線端のボール形成方法であって（特許請求の範囲第１項）、引用例２に、水素（還元性ガス）とアルゴン（不活性ガス）との混合気を雰囲気ガス放射管によりボンディングワイヤ端に放射すること（２頁右下欄６行ないし16行及び第11図）が記載されており、したがって、引用例２記載の発明は、不活性被覆ガスと水素ガスとの混合ガスをワイヤ先端に供給するものであることは、当事者間に争いがない。

そして、成立に争いのない甲第５号証によれば、周知例には、本願第１発明と同じ半導体製造の技術に関するＩＣ中のトランジスタのベース部分の製作に当たり、複数種のガス（窒素ガスと酸素ガス）の流れを別々に発生させた後それらを混合させて得た混合ガスを供給することが記載されているものと認められるところ、通常不活性被覆ガスと水素ガスのような性質の異なる複数種のガスから混合ガスを発生させる場合、性質の異なる複数種のガスを各々別々に発生させ、しかる後にこれらを混合して混合ガスを発生させることは当業者にとって自明の技術に属し、周知例を示すまでもなく、本出願当時普通に行われていたことにすぎないといえる。

したがって、引用例１記載の発明におけるシュラウドへ供給するガスを、シュラウドへ不活性被覆ガスの流れを発生させ、不活性被覆ガスとは別の水素ガスの流れを発生させ、不活性被覆ガスと水素ガスとを混合させ、不活性被覆ガスと水素ガスとが実質的に完全に混合した混合ガスとすることは、当業者が容易になし得る程度のことである、とした審決の判断に誤りはない。